根據環氧乙烷滅菌時所用環氧乙烷氣體純度的不同可將環氧乙烷滅菌器分為混合類氣體滅菌器和純氣體類滅菌器兩種。下面將介紹它的滅菌原理與優點。
環氧乙烷滅菌機理是：環氧乙烷能與蛋白質上的羧基、氨基、硫基和羥基產生烷基化反應，代替上述各基團上不穩定氫原子，而構成一個帶有羥乙基根的化合物，這個化合物破壞了微生物重要代謝反應中所必需的反應基，影響細菌酶的作用而使微生物死亡。
環氧乙烷滅菌器的優點是:
(1)可用于不耐高溫、不耐濕物品的滅菌。
(2)穿透性強，滅菌效果好。
(3)適用范圍廣，對物品損傷小。
(4)包裝材料要求低，便于儲存運輸。
(5)監測措施完善。