主要應用于臨床的醫療材質和幾何形狀都符合要求的器材，只要按照要求進行使用，該滅菌柜就能恒定地達到10-6SAL的滅菌水平。
過氧化氫低溫等離子滅菌器既可對金屬醫療器械進行低溫滅菌，也可對非金屬醫療器械進行低溫滅菌。通過過氧化氫在艙室內擴散，然后將過氧化氫"激勵"成等離子體狀態，對醫療器械進行滅菌。過氧化氫蒸汽通過與等離子體結合，可對醫用器械和材料安全、迅速滅菌，不留任何毒性殘余。滅菌過程的各階段都是在干燥的低溫環境下運行，因此不會損壞對熱或水汽敏感的器械，對金屬和非金屬器械都適用，并能對諸如止血鉗鉸鏈等難以到達（不易擴散）的器械部位進行滅菌。
早先引入等離子滅菌技術的是美國一家公司，目前國內也有很多的生產廠家在此領域里不斷進行技術改造升級，做出了不錯的成績比如我們三強公司。
過氧化氫等離子體是1990年代開始面世的一項新低溫滅菌技術。等離子體被認為是液態、氣態、固態之外的第四種狀態，是氣體分子在極度真空的腔體內受激發而形成的。過氧化氫等離子體滅菌，具有滅菌循環時間短，徹底分解終產物毒性低的優勢。